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產(chǎn)品型號：CY-TRP廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2025-11-17訪 問 量：303產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細介紹
| 品牌 | CYKY | 價格區(qū)間 | 10萬-30萬 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
真空磁控濺射鍍膜系統(tǒng)設(shè)備用途：
用于納米級單層及多層功能膜、硬質(zhì)膜、金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜等新型薄膜材料的制備?？蓮V泛應(yīng)用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。
磁控鍍膜儀典型應(yīng)用：
• 科研領(lǐng)域：納米材料、薄膜器件、光學(xué)涂層等研究。
• 電子行業(yè)：半導(dǎo)體、傳感器、導(dǎo)電薄膜制備。
• 教學(xué)演示：材料科學(xué)、真空技術(shù)實驗教學(xué)。
• 以下是磁控鍍膜儀的典型實用案例，涵蓋科研、工業(yè)及教學(xué)領(lǐng)域，體現(xiàn)其多功能性和廣泛應(yīng)用價值：
真空磁控濺射鍍膜系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：
真空室 | 圓筒型前開門結(jié)構(gòu)，尺寸?450×40mm | |
真空系統(tǒng)配置 | 復(fù)合分子泵、機械泵、氣動閘板閥、進口SMC氣缸節(jié)流閥 | |
極限壓力 | ≤6.6 *10-6 Pa。（經(jīng)烘烤除氣后） | |
恢復(fù)真空時間 | 25 分鐘可達到≤6.6×10-6 Pa。（短時間撰茲大氣并充入干燥氮氣后開始抽氣） | |
磁控靶組件 | 永磁靶三套；靶材尺寸?60mm（其中一個可濺射磁性材料）；各靶射頻灘射和直流裁射兼容；靶內(nèi)水冷；三個靶可共同折向上面的樣品中心；靶與樣品距離 90~130mm可調(diào)；每個靶配進口 SMC 旋轉(zhuǎn)氣動擋板 | |
單基片加熱臺 | 樣品尺寸 | ?4英寸 |
運動方式 | 基片可連續(xù)回轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速 0－30 轉(zhuǎn)/分 | |
加熱 | 進口加熱絲加熱，zui高加熱溫度 600℃ ±1℃ | |
擋板形式 | 進口 SMC 轉(zhuǎn)角氣缸控制 | |
氣路系統(tǒng) | 質(zhì) 量 流 量 控制器 2 路 | |
計算機控制系統(tǒng) | 采用 PLC ＋工控機＋觸摸屏全自動控制方式 | |
可選配件 | 膜厚儀、氣泵、水冷循環(huán)機 | |
設(shè)備占地面積 | 主機 | I000×1800mm2 |
電控柜 | 900×600mm2 | |
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