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產(chǎn)品型號(hào)：CY-SC廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-11-17訪 問 量：187產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細(xì)介紹
| 品牌 | CYKY | 價(jià)格區(qū)間 | 10萬-30萬 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
單室磁控濺射鍍膜儀設(shè)備用途：
用于納米級(jí)單層及多層功能膜、硬質(zhì)膜、金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜等新型薄膜材料的制備?？蓮V泛應(yīng)用于大專院校、科研院所的薄膜材料科研與小批量制備。
單室磁控濺射鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：
真空室 | 圓型真空室，尺寸? 450×50mm | |
真空系統(tǒng)配置 | 復(fù)合分子泵、機(jī)械泵、閘板閥 | |
極限壓力 | ≦6.67*10-5 Pa （經(jīng)烘烤除氣后） | |
恢復(fù)真空時(shí)間 | 40 分鐘可達(dá)到6 .6*10-4 Pa 。（系統(tǒng)短時(shí)間暴露大氣并充入干燥氮?dú)夂箝_始抽氣） | |
磁控靶組件 | 永磁靶三套；靶材尺寸?60mm（其中一個(gè)可濺射磁性材料）；各靶射頻灘射和直流裁射兼容；靶內(nèi)水冷；三個(gè)靶可共同折向上面的樣品中心；靶與樣品距離 90~110mm可調(diào)；當(dāng)直接向上濺射時(shí)，靶與樣品距離40~80mm可調(diào) | |
基片水冷加熱公轉(zhuǎn)臺(tái) | 基片結(jié)構(gòu) | 基片加熱與水冷獨(dú)立工作，取下加熱爐可以換上水冷基片臺(tái) |
樣品尺寸 | ?30mm | |
運(yùn)動(dòng)方式 | 基片可連續(xù)回轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速 5~10 轉(zhuǎn)／分 | |
加熱 | 基片加熱*高溫度600℃±1℃ | |
基片負(fù)偏壓 | －200V | |
氣路系統(tǒng) | 質(zhì) 量 流 量 控制器 2 路 | |
計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng) | 控制樣品轉(zhuǎn)動(dòng)，擋板開關(guān)，靶位確認(rèn)等 | |
可選配件6工位基片加熱公轉(zhuǎn)臺(tái) | 拆下單基片水冷加熱臺(tái)可以換上該轉(zhuǎn)臺(tái)?？赏瑫r(shí)放置6片30mm的基片；6個(gè)工位中，其中一個(gè)工位安裝加熱爐，其余工位為自然冷卻基片臺(tái)；基片加熱*高溫度600℃ ±1℃ | |
設(shè)備占地面積 | 主機(jī) | I300×800mm2 |
電控柜 | 70×700m2 | |
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