桌面型雙靶磁控鍍膜儀。設備經(jīng)過小型化設計，在保留高真空不銹鋼腔體的同時，精簡了其他機構(gòu)，將設備外形限制在了桌面級別，大大減少了安裝場地需求。設備配有一個直流電源一個射頻電源，直流靶可用于金屬及其他導電材料的濺射，射頻電源可用于各種非金屬和金屬氧化物等的濺射。設備真空系統(tǒng)采用全進口真空泵，抽氣速度快，極限真空度高，真空性能優(yōu)異。本設備結(jié)構(gòu)緊湊功能完善便于使用，非常適合用于各類鍍膜試驗。

產(chǎn)品型號：CY-MSZ210-I I -DCDC-SS
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-11-17
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產(chǎn)品分類CLASSIFICATION

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詳細介紹

品牌	CYKY	價格區(qū)間	5萬-10萬
產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	應用領域	電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件

桌面型雙靶磁控鍍膜儀。設備經(jīng)過小型化設計，在保留高真空不銹鋼腔體的同時，精簡了其他機構(gòu)，將設備外形限制在了桌面級別，大大減少了安裝場地需求。設備配有一個直流電源一個射頻電源，直流靶可用于金屬及其他導電材料的濺射，射頻電源可用于各種非金屬和金屬氧化物等的濺射。設備真空系統(tǒng)采用全進口真空泵，抽氣速度快，極限真空度高，真空性能優(yōu)異。本設備結(jié)構(gòu)緊湊功能完善便于使用，非常適合用于各類鍍膜試驗。

桌面型雙靶磁控鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	桌面型不銹鋼腔體雙靶磁控鍍膜儀
產(chǎn)品型號	CY-MSZ210-I I -DCDC-SS
樣品臺	外形尺寸	φ100mm
	加熱溫度	≦500℃
	可調(diào)轉(zhuǎn)速	≦20rpm
磁控靶槍	配兩支兩英寸磁控靶，靶材尺寸:直徑50.8mm，厚度≦3mm
真空腔體	腔體尺寸	φ210mm X260mm
	觀察窗口	全向透明
	腔體材料	304不銹鋼
	開啟方式	上蓋拆卸式
真空系統(tǒng)	前級泵	低噪音雙極旋片泵
	分子泵	低噪音大抽速渦輪分子泵
	真空測量	復合真空計，量程:10^-5~10⁵Pa
	抽氣接口	KF16
	抽氣接口	KF40
	排氣接口	KF16
	系統(tǒng)真空	1.0×10^-4Pa
	供電電源	AC 220V 50/60Hz
	抽氣速率	分子泵抽速600L/s，前級泵抽速1.1L/s
電源配置	電源數(shù)量	直流電源兩套
電源配置	輸出功率	500W
其他參數(shù)	供電電壓	AC220V,50Hz
	整機功率	4kW
	整機尺寸	550mm X 350mm X900mm

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