真空腔室

結(jié)構(gòu)：圓筒形+上蓋

材質(zhì)：304上等不銹鋼

腔體尺寸:Φ640x320mm

電源：

AC220V /三相380V 30KW

控溫

低壓和大電流直流電源，熱絲溫度*高可達(dá)2500°C。  

沉積基體表面：600℃左右

腔體壁溫度： <60℃

控溫精度：0.1℃ 

測(cè)溫系統(tǒng)

遠(yuǎn)紅外光學(xué)測(cè)溫+熱電偶監(jiān)測(cè)

熱絲裝置：

恒定張力陣列幾何形狀，鉬絲，銅饋通，鎢絲結(jié)合處理，方便調(diào)整與維護(hù)

觀察窗

主觀察窗φ190mm 輔觀察窗φ45mm

水路系統(tǒng)

水冷電極、水冷腔體、水冷熱絲輔助部件

總水管接口尺寸 40mm

冷卻水流量：60L/MIN

真空系統(tǒng)

雙基旋片泵+高真空閥門組合（**閥，流量感應(yīng)器，調(diào)節(jié)閥……） ，數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)，

*大抽氣速度：65 m3/h

設(shè)備保壓：停泵 12 小時(shí)候后，真空≤10Pa；

抽氣接口 CF40    排氣接口KF16

操作系統(tǒng)：

PLC+觸摸屏人機(jī)界面半自動(dòng)控制系統(tǒng)；

**系統(tǒng)

報(bào)警及保護(hù)：對(duì)泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施；完善 的邏輯程序互鎖保護(hù)系統(tǒng)；

占地尺寸

(主機(jī)）L1800×W1150×H1550(mm)。

整機(jī)重量

600kg