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產(chǎn)品型號：CY-EVH500-III-HHH-SS廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2025-11-16訪 問 量：204產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 價格區(qū)間 | 10萬-30萬 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,地礦,能源,建材/家具,鋼鐵/金屬 |
本設(shè)備為三源高真空蒸發(fā)鍍膜儀，設(shè)備采用前開門式真空腔體設(shè)計，腔體空間大，可拓展性強(qiáng)，能夠滿足多樣式大尺寸樣品的蒸發(fā)鍍膜。腔體內(nèi)配有上置樣品臺，可根據(jù)用戶樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。樣品臺可旋轉(zhuǎn)、加熱，所有操作均通過觸控屏集成控制。設(shè)備的真空泵組為兩級式真空系統(tǒng)，由雙極旋片真空泵和渦輪分子泵組成，可為真空鍍膜試驗提供清潔無油的高真空的環(huán)境；真空系統(tǒng)內(nèi)含有完善的氣動閥系統(tǒng)，用戶可通過觸控屏進(jìn)行一鍵式操作實現(xiàn)抽取真空、不停機(jī)取放樣、停機(jī)等操作。
詳情介紹：
本設(shè)備的蒸發(fā)源共三組，采取鎢舟蒸發(fā)源，水冷式銅電極，可*大支持260A的大電流，加熱溫度*高可達(dá)1800℃，可實現(xiàn)多種難熔金屬的蒸鍍，三組獨立熱蒸發(fā)源，不會導(dǎo)致鍍材互相污染。本設(shè)備采用一體化設(shè)計，腔體和電控部分左右分置，實現(xiàn)了水電分離，有力的保證了用戶的**。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結(jié)合的設(shè)計，真空系統(tǒng)、樣品臺等輔助功能通過觸控屏一鍵操作，通電蒸發(fā)、膜厚控制等通過面板獨立操作，在盡可能方便用戶的同時規(guī)避了誤操作的可能。該設(shè)備設(shè)計完善性能，是實驗室高精度蒸發(fā)鍍膜試驗的之選。
三源高真空蒸發(fā)鍍膜儀應(yīng)用領(lǐng)域：金屬和介電膜 ，薄膜傳感器的制造 ，光學(xué)元件 ，納米與微電子 ，太陽能電池等。
技術(shù)參數(shù)：
| 產(chǎn)品名稱 | 三源高真空蒸發(fā)鍍膜儀 | |
| 產(chǎn)品型號 | CY-EVH500-III-HHH-SS | |
| 樣品臺 | 尺寸 | *大支持φ150mm樣品 |
| 功能 | 可旋轉(zhuǎn)，*高加熱500℃ | |
| 蒸發(fā)源 | 數(shù)量 | 鎢舟x3 |
| 電源 | 每個蒸發(fā)源配一組獨立電源；三個蒸發(fā)源共三組獨立電源 | |
| 真空腔體 | 腔體尺寸 | φ300x400mm |
| 觀察窗口 | 前置φ100mm | |
| 腔體材料 | 304不銹鋼 | |
| 開啟方式 | 前開門式 | |
| 膜厚控制（選配） | 晶振式膜厚測量儀，可選多通道膜厚控制儀 | |
| 真空系統(tǒng) | 前級泵 | 雙極旋片泵 |
| 抽氣接口 | KF16 | |
| 次級泵 | 渦輪分子泵 | |
| 抽氣接口 | CF160 | |
| 真空測量 | 電阻+電離 復(fù)合真空規(guī) | |
| 排氣速率 | 機(jī)械泵1.1L/s 分子泵 600L/s | |
| 極限真空 | 1.0E-5Pa | |
| 供電電源 | AC 220V 50/60Hz | |
| 抽氣速率 | 旋片泵：1.1L/S | |
| 控制系統(tǒng) | PLC自動控制 操作界面：觸控屏+操作面板 （觸摸屏可控制沉積過程和快速數(shù)據(jù)輸入；用戶友好 PLC 軟件系統(tǒng)，可以通過網(wǎng)絡(luò)更新） | |
|
其他 | 供電電壓 | AC380V,50Hz |
| 整機(jī)尺寸 | 1000mm X 800mm X 1500mm | |
| 整機(jī)功率 | 5kW | |
| 整機(jī)重量 | 350kg | |
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