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產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
凈化型勻膠機(jī)廣泛用于半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等，例如對(duì)大型晶圓、芯片、晶片等進(jìn)行工藝制版時(shí)，可用此設(shè)備進(jìn)行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠；是集成電路及半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中涂覆勻膠的專用設(shè)備 。該設(shè)備中涂膠部分含有兩個(gè)工位的勻膠臺(tái)，可分別獨(dú)立工作，也可兩臺(tái)同時(shí)工作。
本型號(hào)防腐型聚四氟腔體勻膠機(jī)經(jīng)過小型化設(shè)計(jì)，整體采用鋁合金結(jié)構(gòu)，防腐型聚四氟腔體，外觀美觀堅(jiān)固。儀器采用的精密電機(jī)，最高轉(zhuǎn)速能達(dá)到10000轉(zhuǎn)/秒；控制依靠按鍵和高亮液晶屏，除直接勻膠外還能預(yù)存勻膠曲線進(jìn)行程控勻膠。本儀器在極大的減小了體積的前提下有效的保障了儀器性能和功能，十分適合實(shí)驗(yàn)室選購。
不銹鋼腔體八英寸勻膠機(jī)旋涂儀可以將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜，主要應(yīng)用于光刻膠旋涂、生物培養(yǎng)基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領(lǐng)域
托盤定位勻膠機(jī)旋涂儀可以將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜，主要應(yīng)用于光刻膠旋涂、生物培養(yǎng)基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領(lǐng)域。
全自動(dòng)超聲波氣氛加熱勻膠機(jī)是一款直徑300mm、靈活的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，可通過超聲波噴頭把膠液噴灑在基片上，進(jìn)而通過高速旋轉(zhuǎn)使得膠液均勻涂覆在基片上。加熱勻膠機(jī)也可以單獨(dú)進(jìn)行旋涂操作。
紫外線光固化勻膠機(jī)配有紫外線光源，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)特殊膜料的固化功能，真空吸附固定，操作簡(jiǎn)單，可自由取放。
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